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  半导体  
semiconductor device
WFD18H-DBS高精度固晶机
产品特点

   高精度: ±3μm 的位置精度;
                  ±0.3 ° 的角度精度;

  精准力控: 音圈电机程控固晶压力 、确保力控精准稳定;

产品介绍
规格参数

产品优势:

高精度: ±3μm 的位置精度;±0.3 ° 的角度精度;
精准力控: 音圈电机程控固晶压力 、确保力控精准稳定;
支持6寸晶圆环 、 华夫盒 、gelpak等芯片来料, 基板自动上下料;                           
标配蘸胶系统, 蘸胶针具备加热功能, 可选配针筒点胶模块;
数字式漏晶检测, 报警或自动重新拾取芯片功能; Postbond取放精度检测统计;  
承继Mini LED固晶机台软件的易用性 ,编程/转线简单快捷。

应用领域:
适用于VCSEL 、 PD 、 TIA 、 LDD等芯片的高精度固晶,典型领域如25G\40G\ 100G光模块 、AOC、GOLD BOX、TEC、激光雷达等。

项目 WFD18H-DBS
贴装工艺   胶工艺(银胶/环氧胶/UV胶)
机器性能 XY位置精度 标准片±1. 5μm,芯片±3μm    
角度精度 ±0. 3°
产能 400-800 颗/小时
芯片处理能力 芯片来料 6寸晶圆环(最多3个),4寸或2寸华夫盒/凝胶盒 ,客制托盘
芯片大小 长 x 宽 x 厚(0.2mm ~2. 5mm)x (0.2mm ~2. 5mm)x (0.075mm ~ 1mm),其他范围可定制
基板处理能力 基板尺寸 长x宽 x 厚(50mm ~ 100mm)x ( 50mm ~200mm)x (0.7mm ~ 1.6mm),其他范围可定制
基板上料 全自动基板上下料
邦头系统 吸嘴个数 取料邦头: 1个; 贴装邦头: 1个
邦定力度 音圈马达程控贴装压力 ,可控范围 :20-300g±5g
蘸胶/点胶系统 功能形式 标配蘸胶 ,可选点胶, 二选一 ,不兼容
UV固化系统 UV光源 选配,UV LED或UV汞灯
相机 分辨率 4096 X 3036像素
识别精度 0.9μm
机器尺寸和重量 尺寸 1340x 1380 x 1730 mm (不含显示器 、 三色灯及FFU)
重量 ≈ 2000 Kg
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